ULSI新器件及其集成技术研究所

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010-62752549
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系统集成芯片(SOC)设计研究所

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北京大学MPW中心 010-62758331
北京大学－惠瑞捷SOC测试中心 010-62755105

 

微电子机械系统(MEMS)技术研究所

微电子机械系统(MEMS)研究室
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