2007 年 2 月 27 日，中共中央、国务院在人民大会堂隆重召开国家科学技术奖励大会，表彰 2006 年度对中国科学技术事业做出重要贡献的科技工作者。北京大学微电子学研究院 “ 硅基 MEMS 技术及应用研究 ” 项目获得国家技术发明二等奖。 这是北京大学第一次以 第一完成人单位获得国家技术发明二等奖。

项目介绍

硅基 MEMS 技术及应用研究

完成单位：北京大学〔微电子学研究院)

完成人：王阳元、张大成、郝一龙、闫桂珍、李婷、张海霞

微电子机械系统〔 MEMS 〕是集敏感、执行、信号处理为一体的集成智能系统；是国家安全和经济发展的战略高科技；代表产品有生物芯片、毒害气体传感器、加速度计和惯性测量组合等。

该项目的研究工作历时十年，在国家预研、 863 、 973 、自然科学基金等项目的支持下，针对 MEMS 研发的瓶颈问题－加工技术，开发了由 41 项专利和 4 个软件登记证构成的三套标准工艺流程和国内首个 MEMS 工具软件；突破了高深宽比硅刻蚀、微结构键合强度检测、应变电阻杂质分布、薄膜应力控制等一批国际难点技术；建立了世界一流的加工设计平台，支撑了 67 个单位的 432 个器件研制和 500 项工艺研究；形成了器件和工艺双方专业化分工合作的研发模式，提高了研发水平、效率、经费利用率以及传统行业的持续发展能力；首次实现了 MEMS 芯片批产，使研究成果转化为先进生产力和核心竞争力；带动我国 MEMS 研发进入国际先进行列，是我国 MEMS 领域有代表性的成果。